分光鏡也叫分束鏡，能通過(guò)自身鍍膜特效實(shí)現(xiàn)將一束光分成多束的光學(xué)元件，通常由光學(xué)玻璃鍍膜加工而成。其表面覆蓋了分光膜，針對(duì)不同的分光鏡形態(tài)，我們一般將其分成分光平片和分光棱鏡兩大類(lèi)。

分光鏡特征及用途表

使用激光(直線偏光)的實(shí)驗(yàn)

在使用激光的實(shí)驗(yàn)中，半反射鏡的分束比有可能隨偏光特性發(fā)生很大的變化。理解了各種半反射的偏光特性的基礎(chǔ)上，需要根據(jù)使用目的進(jìn)行選擇。

分光鏡入射光和出射光偏振態(tài)對(duì)比表

(比例分光片)

分光平片，主要通過(guò)在基底玻璃一面鍍分光膜，通常在另一面鍍?cè)鐾改ぃ瑥亩岩皇夥譃榉瓷涞囊皇夂屯干涞囊皇?。比例分光片可以使用金屬膜或介質(zhì)膜制作，而二向色鏡則必須使用多層介質(zhì)膜真空蒸鍍而成。高質(zhì)量的介質(zhì)膜分光片吸收損耗極?。ㄍǔ?lt;1%），其穿透率(T)與反射率(R)之和非常接近100%（但仍小于100%，存在微小的吸收和散射損耗）。 分光方式可以簡(jiǎn)單分為兩類(lèi)，一類(lèi)是以光透反射比例實(shí)現(xiàn)分光的比例分光片，如50/50、70/30分光片等；另外一類(lèi)則是以波段劃分的二向色鏡，在專(zhuān)業(yè)光學(xué)領(lǐng)域被統(tǒng)稱(chēng)為二向色鏡或分色鏡，其應(yīng)用覆蓋紫外、可見(jiàn)光及紅外波段。

（比例分光片）

（二向分光片）

分光光楔：為提升大尺寸分光片的機(jī)械穩(wěn)定性和抗變形能力，其基底厚度通常會(huì)增加。此時(shí)，后表面產(chǎn)生的反射光（鬼像）會(huì)與主反射光（前表面反射光）在空間重疊，形成干擾性雜散光或干涉噪聲。為消除此干擾，可將分光片加工成具有微小楔角（典型值0.5°~3°）的光楔結(jié)構(gòu)。該楔角使前后表面不平行，導(dǎo)致后表面反射光經(jīng)折射后以顯著角度偏離主反射光路，從而實(shí)現(xiàn)物理隔離。

注意：光楔結(jié)構(gòu)同時(shí)會(huì)使透射光束發(fā)生偏折，在需要嚴(yán)格準(zhǔn)直的應(yīng)用中需進(jìn)行光學(xué)補(bǔ)償（如使用配對(duì)反向光楔）。

（分光光楔）

分光棱鏡，是把分光膜鍍?cè)谥苯抢忡R的斜邊表面上，再膠合一個(gè)同樣形狀的棱鏡（或通過(guò)光膠工藝結(jié)合）。最常見(jiàn)的形態(tài)是立方體，也有其他直角棱鏡組合等形式。其工作原理是通過(guò)在待膠合（或光膠）的棱鏡表面上鍍制分光膜。入射光到達(dá)這個(gè)內(nèi)部分光膜時(shí)，一部分反射，一部分透射。棱鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得反射光和透射光從不同的面出射，并且最常以90度角分離。

（普通分光棱鏡）

普通分光棱鏡（中性分光棱鏡）：以實(shí)現(xiàn)能量分束為目標(biāo)，通常不控制偏振態(tài)。其分光膜（金屬膜或介質(zhì)膜）對(duì)S偏振和P偏振的響應(yīng)存在差異（偏振依賴(lài)性），設(shè)計(jì)時(shí)力求最小化此差異。入射光可為自然光、偏振光或部分偏振光，無(wú)需滿足S/P分量相等。兩束出射光為能量近似相等但偏振態(tài)混合的部分偏振光。在對(duì)偏振一致性或分光比精度要求極高的系統(tǒng)中，其性能可能不足。

（偏振分光棱鏡）

偏振分光棱鏡（PBS）：由一對(duì)高精度直角棱鏡膠合而成，斜面鍍有多層介質(zhì)偏振分光膜（或采用金屬線柵）。當(dāng)非偏振光垂直入射時(shí)，分光膜高效反射S偏振光，透射P偏振光，使兩束出射光從相鄰垂直面出射，且偏振態(tài)正交（反射光≈S光，透射光≈P光）。

注意：

出射光為高度偏振化（消光比通常>100:1），但存在輕微偏振泄露；

入射偏振光的偏振方向直接影響分束比（如45°線偏振光入射時(shí)，兩路光強(qiáng)相等）；

介質(zhì)膜型PBS適用于常用激光波長(zhǎng)（如488nm, 532nm, 633nm, 1064nm）或窄波段；

金屬線柵型PBS可在紫外至紅外寬波段工作，但損傷閾值較低。

（消偏振分光棱鏡）

消偏振分光棱鏡（NPBS）：通過(guò)優(yōu)化多層介質(zhì)膜堆棧結(jié)構(gòu)，大幅降低分光比對(duì)偏振態(tài)的依賴(lài)性（S/P光分光比差異 <5%）；其偏振特性出射光偏振態(tài)與入射光無(wú)關(guān)，適用于任意偏振光源；其窄帶型成本低，寬帶型需復(fù)雜膜系（百層量級(jí)），分光比可能隨波長(zhǎng)波動(dòng)；嚴(yán)格依賴(lài)設(shè)計(jì)入射角（通常0°或45°），角度偏離將劣化性能；

激光適用性：

低功率激光：全類(lèi)型適用；

高功率連續(xù)激光：優(yōu)先選用光膠或空氣隙型結(jié)構(gòu)；

脈沖激光：需驗(yàn)證膜層損傷閾值（通常 <500mJ/cm2@1064nm, 10ns）。